微硅粉气力输送，采用的是负压吸气式气力输送系统。微硅粉吸送式气力输送设备装置是利用罗茨真空泵从整个管路系统抽风，使整个管路都处于负压状态，气流将微硅粉从吸管吸入输送物料的管道，并将其形成物料和气体的混合物。气固混合物行至分离器时物料与空气分开。微硅粉经关风器排除，此时空气经罗茨真空泵进入除尘器，将空气中的粉尘除掉而排入大气中，防止微硅粉粉尘对大气的污染。
这种硅粉气力输送系统主要用的设备由：
气源部分：罗茨真空泵
给料装置：吸嘴或旋转阀（旋转供料器）
分离装置：旋风分离器
除尘装置：组合除尘器
卸料装置：卸料阀
这种吸送式粉体气力输送装置的优点是，整个输送状态输送管道处于负压状态，没有粉尘溢出，物料可以从几处向中央输送，增加了输送效率。
微硅粉粉体气力输送设备总体分析其特点:
1.有可靠的密闭性，管路内的粉尘不会泄漏于环境；
2.设备的制造、维护要求低，工人的可操作性强；
3.使用的压力(真空度)小，安全性高；
4.输送物料量大，输送距离远，输送物料线路不受地形限制
5.输送为连续式、亦可间断，管道内无积存；
6.可以多点进料和多点卸料；
7.采用离心风机、罗茨风机为气体动力源，使用寿命长；
8.对输送物料的适应性强，粉料、颗粒料均可顺利输送。
